于藍(lán)寶石襯底表面制作納米球的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110157416.0 申請日 -
公開（公告）號 CN102299055A 公開（公告）日 2011-12-28
申請公布號 CN102299055A 申請公布日 2011-12-28
分類號 H01L21/02(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I;B82Y40/00(2011.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳達(dá)軍 申請（專利權(quán)）人 徐州協(xié)鑫光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 協(xié)鑫光電科技（張家港）有限公司;徐州協(xié)鑫光電科技有限公司
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種于藍(lán)寶石襯底表面制作納米球的方法，是取一個(gè)藍(lán)寶石襯底并在表面配置一個(gè)金屬薄層；將藍(lán)寶石襯底與金屬薄層的組合加熱，使得金屬薄層的溫度接近自身的熔點(diǎn)；藉表面張力的作用，使金屬薄層得以破裂，進(jìn)而每一個(gè)金屬裂塊收縮形成金屬納米球，且分布于藍(lán)寶石襯底上形成金屬掩膜。其次也可以在金屬薄層與藍(lán)寶石襯底之間再配置一個(gè)二氧化硅薄層。由于金屬掩膜的形成是利用加熱及自身的表面張力作用，因此制作成本低，此外金屬掩膜上具有微小的圖形，有助將藍(lán)寶石襯底表面蝕刻成具有納米尺寸的凹凸圖形。