一種熱場(chǎng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220021343.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202530197U 公開（公告）日 2012-11-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN202530197U 申請(qǐng)公布日 2012-11-14
分類號(hào) C30B17/00(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 錢兵 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 徐州協(xié)鑫光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐州協(xié)鑫光電科技有限公司
地址 221000 江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)楊山路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種熱場(chǎng)裝置，所述熱場(chǎng)裝置包括：坩堝、設(shè)置于所述坩堝下方的坩堝托盤、設(shè)置于所述坩堝托盤下方的支撐柱以及設(shè)置于所述支撐柱下方的支撐柱底座，其中，所述坩堝與所述坩堝托盤之間、所述坩堝托盤與所述支撐柱之間和/或所述支撐柱與所述支撐柱底座之間設(shè)置有用于防粘連的涂層。本實(shí)用新型能夠有效防止熱場(chǎng)裝置中的各部件在高溫狀態(tài)下的粘連現(xiàn)象。