一種生長(zhǎng)單晶用籽晶桿及包括該籽晶桿的生長(zhǎng)單晶設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201220027870.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202530196U 公開(kāi)（公告）日 2012-11-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN202530196U 申請(qǐng)公布日 2012-11-14
分類(lèi)號(hào) C30B15/32(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 鄭偉 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 徐州協(xié)鑫光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐州協(xié)鑫光電科技有限公司
地址 221000 江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)楊山路88號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種用于生長(zhǎng)單晶用籽晶桿，其包括管體，該管體有內(nèi)管(7、9)及外管(8、10)構(gòu)成，上述內(nèi)管及外管之間隔開(kāi)一定距離；安裝在上述管體頂端的旋轉(zhuǎn)接頭(12)，該旋轉(zhuǎn)頭(12)上設(shè)有冷卻氣體入口(1)及冷卻氣體出口(2)；設(shè)置在上述旋轉(zhuǎn)頭(12)的下方的轉(zhuǎn)動(dòng)件(13)、稱(chēng)重傳感器(14)及外圍護(hù)套(6)；其中，該轉(zhuǎn)動(dòng)件(13)與連接在上述管體上的旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器(5)相互配合以實(shí)現(xiàn)籽晶桿的旋轉(zhuǎn)；該外圍護(hù)套(6)罩在上述外管(8、10)外側(cè)，該外圍護(hù)套(6)上分別設(shè)有冷卻液入口(3)及冷卻液出口(4)；上述管體的末端開(kāi)設(shè)有卡槽(11)；并且，所述籽晶桿整體密封設(shè)置。