晶棒切片后的裝卸裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201220015981.3 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN202528329U | 公開(公告)日 | 2012-11-14 |
申請公布號 | CN202528329U | 申請公布日 | 2012-11-14 |
分類號 | B28D7/00(2006.01)I | 分類 | 加工水泥、黏土或石料; |
發(fā)明人 | 魏聰 | 申請(專利權(quán))人 | 徐州協(xié)鑫光電科技有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 徐州協(xié)鑫光電科技有限公司 |
地址 | 221000 江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)楊山路88號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實(shí)用新型提供一種晶棒切片后的裝卸裝置,包括:具有容納空間的盛放器,其開設(shè)有便于工件板和晶片進(jìn)入其容納空間內(nèi)的開口;用于穿裝工件板的導(dǎo)軌,固定于所述盛放器內(nèi),其一端設(shè)于所述盛放器的開口處;以及,用于承接脫膠后的晶片的接片裝置,其設(shè)于所述盛放器內(nèi),并位于所述導(dǎo)軌的下方。本實(shí)用新型晶棒切片后的裝卸裝置可在晶棒切片后,通過工件板與盛放器內(nèi)的導(dǎo)軌配合,而直接將工件板及粘結(jié)在工件板上的晶片劃入到盛放器內(nèi),之后將裝載有工件板和晶片的盛放器直接置于溫水中進(jìn)行脫膠,晶片脫膠后自動落入接片裝置內(nèi),這樣便避免了工件板從切片機(jī)上拆卸后的搬運(yùn)及翻轉(zhuǎn)過程,減少了人工操作,避免晶片劃傷,操作簡單。 |
