導(dǎo)模法同步生長多條晶體的熱場及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210008917.7 申請日 -
公開（公告）號 CN102560630A 公開（公告）日 2012-07-11
申請公布號 CN102560630A 申請公布日 2012-07-11
分類號 C30B15/24(2006.01)I;C30B29/20(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 羅平;孟智勇;鄭偉 申請（專利權(quán)）人 徐州協(xié)鑫光電科技有限公司
代理機構(gòu) 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 許靜;趙愛軍
地址 221000 江蘇省徐州市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)楊山路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種導(dǎo)模法同步生長多條晶體的熱場，其包括加熱保溫裝置、坩堝和籽晶夾頭裝置，加熱保溫裝置包括發(fā)熱體；坩堝具有相互平行的第一側(cè)壁和第二側(cè)壁；發(fā)熱體為使坩堝的內(nèi)部與其第一側(cè)壁、第二側(cè)壁等距的位置處溫度相等的結(jié)構(gòu)；坩堝內(nèi)設(shè)置有并排式模具，并排式模具包括多個模具片，每一模具片到坩堝的第一側(cè)壁、第二側(cè)壁的距離相等，且每一模具片的上表面均與所要生長的晶體的截面尺寸、形狀相同；并排式模具的上方設(shè)置籽晶，籽晶底部具有一可與每一模具片的上表面同時接觸的熔接面。本發(fā)明還提供一種采用上述熱場通過導(dǎo)模法同步生長多條晶體的方法。本發(fā)明的熱場可同步生長出晶向一致、徑向溫度梯度均勻的多條晶體。