一種微波鍍納米金剛石薄膜的設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921459399.4 申請日 -
公開（公告）號 CN210826345U 公開（公告）日 2020-06-23
申請公布號 CN210826345U 申請公布日 2020-06-23
分類號 C23C16/27(2006.01)I;C23C16/511(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 蔡茜;付斗才 申請（專利權(quán)）人 四川藍手科技有限公司
代理機構(gòu) 成都為知盾專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 成都道啟弘環(huán)境科技有限公司;四川藍手科技有限公司
地址 610000四川省成都市武侯區(qū)天仁路259號1棟7層719號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種微波鍍納米金剛石薄膜的設備，其中主要由微波發(fā)生器、微波發(fā)射喇叭、工藝進氣管、微波屏蔽層、旋轉(zhuǎn)托盤、水冷系統(tǒng)、真空系統(tǒng)和鍍膜殼體組成，其中鍍膜殼體是具有密封性能的腔體。工作時，工藝氣通過進氣管進入微波發(fā)射喇叭，利用微波將工藝氣進行裂解并等離子化，經(jīng)過裂解等離子化后碳原子作為鍍金剛石薄膜的碳源材料。本實用新型是通過改變微波頻率和工藝氣介質(zhì)，實現(xiàn)SP2和SP3型納米金剛石鍍膜。采用微波鍍膜效率顯著，所鍍納米金剛石薄膜厚度均勻，表面光滑平整，且不易損壞待鍍膜基材，在各種工業(yè)領(lǐng)域有著十分廣闊的應用前景。??