一種在同一襯底上實(shí)現(xiàn)藍(lán)綠光加紅光熒光粉的發(fā)光LED

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710048199.9 申請日 -
公開(公告)號(hào) CN106684228B 公開(公告)日 2019-12-17
申請公布號(hào) CN106684228B 申請公布日 2019-12-17
分類號(hào) H01L33/48(2010.01); H01L33/50(2010.01); H01L33/62(2010.01) 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 丁磊; 彭友; 陳龍 申請(專利權(quán))人 安徽連達(dá)光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京和信華成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 安徽連達(dá)光電科技有限公司
地址 230000 安徽省合肥市高新區(qū)黃山路626號(hào)高新集團(tuán)大樓426室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種在同一襯底上實(shí)現(xiàn)藍(lán)綠光加紅光熒光粉的發(fā)光LED,其包括以下步驟:將磊晶襯底粗化,涂上一層大于10μm耐高溫的光刻膠;將事先做好的藍(lán)光鏤空光罩板放置在光刻膠上,將曝光部分去除掉;將光刻后的襯底進(jìn)行磊晶生長,藍(lán)光磊晶完成后,再二次涂布一層光刻膠,將事先做好的綠色鏤空光罩板放置在光刻膠上,將曝光部分去除掉;將光刻后的襯底放到綠光外延爐里磊晶生長,最后通過蒸鍍、電極制作、測試工藝將藍(lán)綠晶片作為一體進(jìn)行裂片,得到統(tǒng)一襯底的藍(lán)綠光晶片。本發(fā)明通過在同一襯底通過磊晶生長出超窄波長(50nm以下)的藍(lán)光、綠光晶片,搭配超窄波長的紅色熒光粉便可產(chǎn)出色域可以超出100%標(biāo)準(zhǔn)NTSC的廣色域LED。