一種脫膠工序類單晶籽晶的保護(hù)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822145980.0 申請日 -
公開（公告）號 CN209481855U 公開（公告）日 2019-10-11
申請公布號 CN209481855U 申請公布日 2019-10-11
分類號 C30B35/00;C30B29/06 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 劉世龍;張澤興;王超;雷琦;劉超;徐云飛;賴昌權(quán) 申請（專利權(quán)）人 江西旭陽雷迪高科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌新天下專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 謝德珍
地址 332000 江西省九江市經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)出口加工區(qū)外錦繡大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種脫膠工序類單晶籽晶的保護(hù)裝置，包括鑲嵌式固定在金屬框架內(nèi)的保護(hù)框，所述保護(hù)框的4個(gè)側(cè)壁以及底部端面均設(shè)有密排分布的細(xì)孔，所述保護(hù)框內(nèi)裝有類單晶籽晶，類單晶籽晶上端設(shè)有玻璃板，玻璃板上端設(shè)有晶拖，所述保護(hù)框和類單晶籽晶相接觸的4個(gè)側(cè)壁以及底部端面上還均設(shè)有軟塑料網(wǎng)。本實(shí)用新型在金屬框架中套一個(gè)保護(hù)框，保護(hù)框上具有密排分布的細(xì)孔，保護(hù)框內(nèi)壁的四個(gè)側(cè)面和底面上固定有網(wǎng)狀軟塑料，能夠防止類單晶籽晶直接與保護(hù)框磕碰。