一種多晶硅鑄錠用的底部保溫裝置
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201822145361.1 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(kāi)(公告)號(hào) | CN209368385U | 公開(kāi)(公告)日 | 2019-09-10 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN209368385U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-09-10 |
分類(lèi)號(hào) | C30B28/06(2006.01)I; C30B29/06(2006.01)I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
發(fā)明人 | 姚晨; 雷琦; 劉世龍; 張澤興; 賴(lài)昌權(quán); 黃林 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 | 江西旭陽(yáng)雷迪高科技股份有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 南昌新天下專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 謝德珍 |
地址 | 332000 江西省九江市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)出口加工區(qū)外錦繡大道 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 一種多晶硅鑄錠用的底部保溫裝置,包括固定在隔熱籠底部的底部保溫板,所述底部保溫板包括第一底部保溫板,第一底部保溫板的下端設(shè)有第二底部保溫板,第一底部保溫板層疊置于第二底部保溫板上端面的中間位置,所述第一底部保溫板的上端面上的中心位置設(shè)有凹槽。該裝置使多晶硅錠在長(zhǎng)晶期間的垂直溫度梯度得到顯著提高,增加了硅錠中心區(qū)域的長(zhǎng)晶速率,從而使長(zhǎng)晶界面變平或者微凸,減少了硅錠邊部區(qū)域的晶體缺陷,同時(shí)可以增加硅錠的長(zhǎng)晶速率,提高了生產(chǎn)效率。 |
