一種多晶硅鑄錠用的底部保溫裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822145361.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN209368385U 公開(kāi)（公告）日 2019-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN209368385U 申請(qǐng)公布日 2019-09-10
分類(lèi)號(hào) C30B28/06（2006.01）I; C30B29/06（2006.01）I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 姚晨; 雷琦; 劉世龍; 張澤興; 賴(lài)昌權(quán); 黃林 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 江西旭陽(yáng)雷迪高科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌新天下專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 謝德珍
地址 332000 江西省九江市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)出口加工區(qū)外錦繡大道
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多晶硅鑄錠用的底部保溫裝置，包括固定在隔熱籠底部的底部保溫板，所述底部保溫板包括第一底部保溫板，第一底部保溫板的下端設(shè)有第二底部保溫板，第一底部保溫板層疊置于第二底部保溫板上端面的中間位置，所述第一底部保溫板的上端面上的中心位置設(shè)有凹槽。該裝置使多晶硅錠在長(zhǎng)晶期間的垂直溫度梯度得到顯著提高，增加了硅錠中心區(qū)域的長(zhǎng)晶速率，從而使長(zhǎng)晶界面變平或者微凸，減少了硅錠邊部區(qū)域的晶體缺陷，同時(shí)可以增加硅錠的長(zhǎng)晶速率，提高了生產(chǎn)效率。