一種片式傳感器及其制備方法
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN201410816553.4 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN104569106A | 公開(公告)日 | 2015-04-29 |
申請公布號 | CN104569106A | 申請公布日 | 2015-04-29 |
分類號 | G01N27/407(2006.01)I | 分類 | 測量;測試; |
發(fā)明人 | 朱捷;肖建中 | 申請(專利權(quán))人 | 蘇州圣賽諾爾傳感技術(shù)有限公司 |
代理機構(gòu) | 蘇州創(chuàng)元專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 范晴;胡秋嬋 |
地址 | 215331 江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮(zhèn)金陽東路99號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明公開了一種片式傳感器及其制備方法,其中制備方法上通過在加熱層和敏感層之間設(shè)置至少三種過渡層且各過渡層中氧化鋯粉末和氧化鋁粉末的含量自上而下逐漸減少呈梯度分布。本發(fā)明提供的片式傳感器的制備方法能夠提高加熱層和敏感層之間的結(jié)合力同時增加它們之間的絕緣性能,還能防止出現(xiàn)因為各功能層因為膨脹系數(shù)差異導(dǎo)致傳感器斷裂的問題,從而提高片式傳感器的性能和使用壽命。 |
