一種片式傳感器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410816553.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104569106B 公開(kāi)（公告）日 2017-12-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN104569106B 申請(qǐng)公布日 2017-12-01
分類(lèi)號(hào) G01N27/407(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 朱捷;肖建中 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 蘇州圣賽諾爾傳感技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)元專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 范晴;胡秋嬋
地址 215331 江蘇省蘇州市昆山市陸家鎮(zhèn)金陽(yáng)東路99號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種片式傳感器及其制備方法，其中制備方法上通過(guò)在加熱層和敏感層之間設(shè)置至少三種過(guò)渡層且各過(guò)渡層中氧化鋯粉末和氧化鋁粉末的含量自上而下逐漸減少呈梯度分布。本發(fā)明提供的片式傳感器的制備方法能夠提高加熱層和敏感層之間的結(jié)合力同時(shí)增加它們之間的絕緣性能，還能防止出現(xiàn)因?yàn)楦鞴δ軐右驗(yàn)榕蛎浵禂?shù)差異導(dǎo)致傳感器斷裂的問(wèn)題，從而提高片式傳感器的性能和使用壽命。