一種感光性樹脂組合物及其應(yīng)用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910805266.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110515271B 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN110515271B 申請公布日 2022-03-11
分類號 G03F7/027（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 朱高華;李偉杰;周光大 申請（專利權(quán)）人 浙江福斯特新材料研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 浙江千克知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 裴金華
地址 310000 浙江省杭州市臨安區(qū)錦北街道福斯特街8號1幢212
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種感光性樹脂組合物及其應(yīng)用。本發(fā)明的樹脂組合物包括40?70重量份的堿可溶性樹脂、20?50重量份的光聚合單體、0.5?10.0重量份光引發(fā)劑和0.1?10.0重量份添加劑；所述光聚合單體包括0.5?15.0重量份的含有碳酸酯結(jié)構(gòu)的單體。該感光性樹脂組合物用作干膜抗蝕劑，具有退膜易斷裂、退膜碎片較小、退膜速度快等特性，同時(shí)線路分辨率、附著力良好，從而有效地提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品良率。