壓力傳感器的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510772381.X 申請日 -
公開（公告）號 CN106706175B 公開（公告）日 2021-03-09
申請公布號 CN106706175B 申請公布日 2021-03-09
分類號 G01L1/14(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉孟彬;毛劍宏 申請（專利權(quán)）人 上海麗恒光微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李時(shí)云
地址 201203上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號5號樓501B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種壓力傳感器的制備方法，包括：提供一半導(dǎo)體基板；形成壓力感應(yīng)層；在壓力感應(yīng)層上形成掩膜層；刻蝕壓力感應(yīng)層，在壓力感應(yīng)層的頂壁上未被掩膜層保護(hù)的區(qū)域形成開口；利用第一灰化工藝去除所述掩膜層；對刻蝕后的壓力感應(yīng)層進(jìn)行濕法清洗；利用第二灰化工藝，通過所述開口去除犧牲層，從而通過濕法去除了之前工藝過程中產(chǎn)生的聚合物又化學(xué)溶液進(jìn)入電容空腔，提高了電性的穩(wěn)定性，改善了器件的性能。??