探測傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510443737.5 申請日 -
公開（公告）號 CN106373941B 公開（公告）日 2019-05-31
申請公布號 CN106373941B 申請公布日 2019-05-31
分類號 H01L23/528（2006.01）I; H01L31/09（2006.01）I; H01L31/18（2006.01）I; B81B7/02（2006.01）I; B81C1/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊天倫; 毛劍宏; 劉孟彬 申請（專利權(quán)）人 上海麗恒光微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海麗恒光微電子科技有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號5號樓501B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種探測傳感器，包括：半導(dǎo)體基底；隔離層，形成于所述半導(dǎo)體基底上；互連層，形成于所述隔離層上；第一插塞，形成于所述半導(dǎo)體基底上，并位于所述隔離層和互連層中，所述第一插塞與互連層形成電連接；導(dǎo)電墊片，形成于所述互連層上，并與所述互連層形成電連接；上層犧牲層，位于所述互連層上，并覆蓋所述第一插塞和導(dǎo)電墊片；第二插塞，形成于所述上層犧牲層中，所述第二插塞的底部與所述導(dǎo)電墊片電連接；以及感應(yīng)單元，形成于所述上層犧牲層上，所述感應(yīng)單元與所述第二插塞電連接。本發(fā)明還提供一種探測傳感器的制備方法。本發(fā)明的探測傳感器及其制備方法，可以有效地提高感應(yīng)單元的有效感應(yīng)面積。