麥克風傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610696309.8 申請日 -
公開（公告）號 CN107770706B 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN107770706B 申請公布日 2020-04-10
分類號 H04R19/04;H04R31/00 分類 電通信技術;
發(fā)明人 韓鳳芹;劉孟彬;毛劍宏 申請（專利權）人 上海麗恒光微電子科技有限公司
代理機構 上海思微知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 上海麗恒光微電子科技有限公司;海門天眼光電科技有限公司
地址 226133 江蘇省南通市海門市臨江鎮(zhèn)洞庭湖路100號A2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種麥克風傳感器及其制備方法，通過將所述第一基底和第二基底進行鍵合形成空腔，然后在所述第二基底背離所述第一基底的一面形成背面開口，所述背面開口與所述聲學孔導通，以實現(xiàn)MEMS結(jié)構的形成，所述麥克風傳感器可以在現(xiàn)有的晶圓廠可以完成，無需特殊的儀器及材料，制備方法簡單，降低了制備成本。