麥克風(fēng)傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610443922.9 申請日 -
公開（公告）號 CN107529120B 公開（公告）日 2019-10-25
申請公布號 CN107529120B 申請公布日 2019-10-25
分類號 H04R19/04;H04R31/00 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 劉孟彬;毛劍宏 申請（專利權(quán)）人 上海麗恒光微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海麗恒光微電子科技有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號5號樓501B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的麥克風(fēng)傳感器及其制備方法，包括：提供半導(dǎo)體襯底，在半導(dǎo)體襯底的正面形成第一溝槽及第二溝槽，第二溝槽和第一溝槽的交界位置形成臺階；在第二溝槽中形成第一感應(yīng)層，在第一溝槽中形成第二感應(yīng)層，第二溝槽的部分底壁與第一感應(yīng)層之間形成第一空腔，第一感應(yīng)層中具有第一開口陣列，第二感應(yīng)層與第一感應(yīng)層之間形成第二空腔，第二感應(yīng)層中具有第二開口陣列，半導(dǎo)體襯底的背面具有第三溝槽；形成第三感應(yīng)層及介質(zhì)層，第三感應(yīng)層與第二感應(yīng)層之間形成第三空腔，第三感應(yīng)層及介質(zhì)層中具有第三開口陣列；第一電極與第一感應(yīng)層電性連接，第二電極與第二感應(yīng)層電性連接，第三電極與第三感應(yīng)層電性連接。