一種質量厚度為700-1400μg/cm2自支撐鍺薄膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810933359.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109136831B 公開（公告）日 2020-04-24
申請公布號 CN109136831B 申請公布日 2020-04-24
分類號 C23C14/02;C23C14/06;C23C14/32 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 歐志清 申請（專利權）人 泰安泰山科技有限公司
代理機構 廣州市時代知識產權代理事務所（普通合伙） 代理人 廣州本康環(huán)?？萍加邢薰?/td>
地址 271000 山東省泰安市高新區(qū)南天門大街中段高端人才創(chuàng)業(yè)基地
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大尺度自支撐鍺薄膜及其制備方法，包括以下步驟：（1）在襯底表面沉積氯化鈉脫模劑；（2）采用90度磁過濾陰極真空?。‵CVA）系統(tǒng)在襯底表面沉積氧化鋁緩沖薄膜；（3）將樣品旋轉180°，采用直管磁過濾陰極真空?。‵CVA）系統(tǒng)再次沉積鍺薄膜；（4）將得到的襯底放入盛有乙醇溶液的容器中進行脫模處理；（5）用打撈板將鍺薄膜撈起，得到質量厚度為700?1400μg/cm2自支撐鍺薄膜。采用本發(fā)明可以制備出質量厚度為700?1400μg/cm2、具有低應力、均勻且致密的自支撐鍺薄膜，且工藝簡單。