基于白光光柵干涉法的微小顆粒檢查方法及設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711457893.2 申請日 -
公開（公告）號 CN108169131A 公開（公告）日 2018-06-15
申請公布號 CN108169131A 申請公布日 2018-06-15
分類號 G01N21/01;G01N21/958 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王彩虹 申請（專利權(quán)）人 無錫奧芬光電科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫市大為專利商標事務所（普通合伙） 代理人 殷紅梅;劉海
地址 214028江蘇省無錫市新吳區(qū)新洲路18路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種基于白光光柵干涉法的微小顆粒檢查方法及設(shè)備，其特征是，包括：承載系統(tǒng)；光學成像系統(tǒng)；光學照明系統(tǒng)，所述光學照明系統(tǒng)包括光源以及設(shè)置于光源前面的光柵；控制系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)與承載系統(tǒng)連接，用于控制承載系統(tǒng)沿X軸移動和水平轉(zhuǎn)動；以及，計算機系統(tǒng)，所述計算機系統(tǒng)與光學成像系統(tǒng)和控制系統(tǒng)連接，用于對光學成像系統(tǒng)回傳的檢測圖像進行處理，識別圖像中待檢測樣品的表面缺陷以及用于輸出指令，使得控制系統(tǒng)控制承載系統(tǒng)的動作。本發(fā)明可以快速檢測出待檢測樣品表面的微小凸起或凹陷。