一種樹脂增透膜及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810124666.6 申請日 -
公開（公告）號 CN108318944A 公開（公告）日 2018-07-24
申請公布號 CN108318944A 申請公布日 2018-07-24
分類號 G02B1/115;C23C14/08;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/32 分類 光學(xué);
發(fā)明人 王軍 申請（專利權(quán)）人 無錫奧芬光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 無錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 殷紅梅;任月娜
地址 214028 江蘇省無錫市新吳區(qū)新洲路18路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種樹脂增透膜及其制備方法，從下至上包括基板以及復(fù)合層，復(fù)合層為相互交替層疊的Ti3O5層與SiAl層組成，Ti3O5層的厚度為10~400 nm，SiAl層的厚度為10~400 nm，將基板置于含離子源的鍍膜機(jī)的真空室中依次進(jìn)行復(fù)合層中各層材料的鍍膜并對各層材料進(jìn)行蒸發(fā)得到樹脂增透膜。本發(fā)明制備方法簡單，步驟易于操作，采用Ti3O5和SiAl為鍍膜原料，交替層疊在樹脂基板上制備增透膜，各膜層致密度高，各膜層間的應(yīng)力相匹配、附著力強(qiáng)。