單色結(jié)構(gòu)光檢查微小顆粒的方法及設(shè)備
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711456615.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN108120665A | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-06-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108120665A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-06-05 |
| 分類(lèi)號(hào) | G01N15/10 | 分類(lèi) | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 王彩虹 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫奧芬光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無(wú)錫市大為專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 殷紅梅;劉海 |
| 地址 | 214028 江蘇省無(wú)錫市新吳區(qū)新洲路18路 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種單色結(jié)構(gòu)光檢查微小顆粒的方法及設(shè)備，其特征是，包括：承載系統(tǒng)，承載系統(tǒng)帶動(dòng)待檢測(cè)樣品沿X軸移動(dòng)以及水平轉(zhuǎn)動(dòng)；光學(xué)成像系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng)用于對(duì)待檢測(cè)樣品進(jìn)行放大成像檢測(cè)，并回傳檢測(cè)圖像；光學(xué)照明系統(tǒng)，光學(xué)照明系統(tǒng)包括光源以及設(shè)置于所述光源外部的具有特定圖形的光罩；控制系統(tǒng)，控制系統(tǒng)與承載系統(tǒng)連接，用于控制承載系統(tǒng)沿X軸移動(dòng)和帶動(dòng)待檢測(cè)樣品水平轉(zhuǎn)動(dòng)；以及，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)，計(jì)算機(jī)系統(tǒng)與光學(xué)成像系統(tǒng)和控制系統(tǒng)連接，用于對(duì)光學(xué)成像系統(tǒng)回傳的檢測(cè)圖像進(jìn)行處理，定量檢測(cè)凸起或凹陷；并用于輸出指令，使控制系統(tǒng)控制承載系統(tǒng)的動(dòng)作。本發(fā)明可以快速、定量檢測(cè)出待檢測(cè)樣品表面的微小凸起或凹陷。 |
