一種適用于發(fā)光二極管的剝離方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310023478.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN103943730A 公開(kāi)（公告）日 2014-07-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN103943730A 申請(qǐng)公布日 2014-07-23
分類(lèi)號(hào) H01L33/00(2010.01)I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 王立彬;郭德博 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 同方光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100083 北京市海淀區(qū)清華同方科技廣場(chǎng)A座29層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種適用于發(fā)光二極管的剝離方法，涉及光電技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的剝離方法步驟為：在基底材料上覆蓋一層介質(zhì)膜一形成圖案一；在器件上表面覆蓋一層介質(zhì)膜二；用化學(xué)液腐蝕掉介質(zhì)膜一，介質(zhì)膜一上方的介質(zhì)膜二被剝離，基底材料上由保留的介質(zhì)膜二形成圖案二，圖案二與圖案一的圖形相反。同現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明使用非光刻膠材質(zhì)實(shí)現(xiàn)圖形化工藝，適用范圍更加廣泛。