一種能夠增加鍵合中晶圓對準效率的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122664916.5 申請日 -
公開（公告）號 CN216871926U 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN216871926U 申請公布日 2022-07-01
分類號 H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 宗肖航;趙德勝;張寶順 申請（專利權）人 中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所
代理機構 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 -
地址 528225廣東省佛山市南海區(qū)獅山鎮(zhèn)科教路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種能夠增加鍵合中晶圓對準效率的裝置，包括水平設置的定位環(huán)和豎直設置的引導桿，所述引導桿穿過所述定位環(huán)并與所述定位環(huán)的內(nèi)側相連接，且所述引導桿圍繞所述定位環(huán)設置；所述引導桿包括弧形引導段和直線引導段，所述弧形引導段與所述直線引導段直接連接，且所述弧形引導段位于所述直線引導段的上部。采用本實用新型，具有提升對準精度和提高對準效率的優(yōu)點。