銅蝕刻液預(yù)處理系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720639826.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN207012624U 公開(kāi)(公告)日 2018-02-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN207012624U 申請(qǐng)公布日 2018-02-16
分類(lèi)號(hào) B01D25/12 分類(lèi) 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 劉志雄;陳雪平 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 東莞市恒建環(huán)??萍加邢薰?/a>
代理機(jī)構(gòu) 廣州華進(jìn)聯(lián)合專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 東莞市恒建環(huán)??萍加邢薰?/td>
地址 523000 廣東省東莞市麻涌鎮(zhèn)麻三村豪峰工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種銅蝕刻液預(yù)處理系統(tǒng),包括依次連通且相鄰設(shè)置的反應(yīng)池、壓濾機(jī)及濾芯過(guò)濾設(shè)備,反應(yīng)池用于銅蝕刻液與藥劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng),壓濾機(jī)用于將反應(yīng)池中銅蝕刻液與藥劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)后的溶液過(guò)濾以得到濾液,濾芯過(guò)濾設(shè)備用于將壓濾機(jī)中的濾液再次過(guò)濾以得到預(yù)處理后的銅蝕刻液,濾芯過(guò)濾設(shè)備包括殼體、收容于殼體內(nèi)的濾芯及出液管道,殼體設(shè)有進(jìn)液口和出液口,進(jìn)液口用于壓濾機(jī)中的濾液進(jìn)入殼體,出液管道安裝于出液口,出液管道的管壁靠近出液口的位置設(shè)有取樣口。如此先后通過(guò)壓濾機(jī)和濾芯過(guò)濾設(shè)備兩次過(guò)濾,避免了采用壓濾機(jī)一次過(guò)濾導(dǎo)致銅蝕刻液工作液不純的問(wèn)題,且取樣口便于隨時(shí)檢查銅蝕刻液是否符合標(biāo)準(zhǔn),進(jìn)而提高了銅蝕刻液的純度。