一種用于半導(dǎo)體用石英環(huán)的快速拋光裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121824483.9 申請日 -
公開（公告）號 CN216098223U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216098223U 申請公布日 2022-03-22
分類號 B24B29/02（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B41/02（2006.01）I;B24B47/06（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 單佩 申請（專利權(quán)）人 上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海茸恒專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 袁威
地址 201801上海市嘉定區(qū)博學(xué)路509號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體拋光技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種拋光裝置。一種用于半導(dǎo)體用石英環(huán)的快速拋光裝置，包括至少一個(gè)用于卡接半導(dǎo)體用石英環(huán)的石英環(huán)卡盤，還包括一機(jī)架，機(jī)架上具有：一拋光機(jī)構(gòu)，具有拋光盤、與拋光盤轉(zhuǎn)動(dòng)連接的拋光轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；至少一個(gè)卡盤轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，具有與石英環(huán)卡盤卡接的轉(zhuǎn)動(dòng)端，帶動(dòng)石英環(huán)卡盤轉(zhuǎn)動(dòng)；石英環(huán)卡盤位于拋光盤上方，石英環(huán)卡盤上卡接半導(dǎo)體用石英環(huán)的一面朝向拋光盤。本實(shí)用新型操作簡單，方便使用，效率高、成本低，提高了操作員工的工作環(huán)境，降低安全隱患。