一種低羥基不透明石英玻璃及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210533504.4 申請日 -
公開（公告）號 CN114751631A 公開（公告）日 2022-07-15
申請公布號 CN114751631A 申請公布日 2022-07-15
分類號 C03B19/14（2006.01）I;C03B20/00（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 胡付儉;周厚盟;梁偉興 申請（專利權）人 上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司
代理機構 上海灃成知識產權代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 201801上海市嘉定區(qū)博學路509號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于石英玻璃制造技術領域，具體涉及一種低羥基不透明石英玻璃及其制造方法。其中一種低羥基不透明石英玻璃的制造方法，包括：S1，將Si源與燃氣、氧氣在反應器中進行氣相沉積反應，反應得到SiO2粉體沉積在目標載體上，移除目標載體，得到SiO2坯體；S2，對SiO2坯體至于真空爐中進行脫羥處理；S3，SiO2坯體在真空爐中保持真空環(huán)境，進行燒結，得到低羥基不透明石英玻璃。本發(fā)明方法得到的不透明石英玻璃，密度分布介于2.10g/min?2.15g/min之間，微孔均勻性好，同時羥基含量小于10ppm，金屬雜質含量在50ppb以下，純度達到合成石英玻璃同等水平。