一種低羥基不透明石英玻璃及其制造方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210533504.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114751631A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114751631A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-15 |
| 分類(lèi)號(hào) | C03B19/14（2006.01）I;C03B20/00（2006.01）I | 分類(lèi) | 玻璃；礦棉或渣棉; |
| 發(fā)明人 | 胡付儉;周厚盟;梁偉興 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海灃成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 201801上海市嘉定區(qū)博學(xué)路509號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于石英玻璃制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種低羥基不透明石英玻璃及其制造方法。其中一種低羥基不透明石英玻璃的制造方法，包括：S1，將Si源與燃?xì)?、氧氣在反?yīng)器中進(jìn)行氣相沉積反應(yīng)，反應(yīng)得到SiO2粉體沉積在目標(biāo)載體上，移除目標(biāo)載體，得到SiO2坯體；S2，對(duì)SiO2坯體至于真空爐中進(jìn)行脫羥處理；S3，SiO2坯體在真空爐中保持真空環(huán)境，進(jìn)行燒結(jié)，得到低羥基不透明石英玻璃。本發(fā)明方法得到的不透明石英玻璃，密度分布介于2.10g/min?2.15g/min之間，微孔均勻性好，同時(shí)羥基含量小于10ppm，金屬雜質(zhì)含量在50ppb以下，純度達(dá)到合成石英玻璃同等水平。 |
