用于半導體用石英板的拋光上盤裝置及拋光上盤方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110007478.7 申請日 -
公開（公告）號 CN112847101B 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN112847101B 申請公布日 2021-11-19
分類號 B24B29/02（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B1/00（2006.01）I;F28C3/00（2006.01）I 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 單佩;陳佳驊 申請（專利權(quán)）人 上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司
代理機構(gòu) 上海和華啟核知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 達曉玲
地址 201801上海市嘉定區(qū)博學路509號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導體用石英板上盤技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種拋光上盤裝置及拋光上盤方法。其中，用于半導體用石英板的拋光上盤裝置，包括底座，底座上設(shè)有水平移動機構(gòu)，水平移動機構(gòu)上分別設(shè)有高溫恒溫水箱和低溫恒溫水箱，還包括升降籃，升降籃內(nèi)底面上設(shè)置有升降籃卡槽，升降籃通過升降氣缸安裝在高溫恒溫水箱和低溫恒溫水箱上方，升降籃內(nèi)設(shè)有加壓提籃，加壓提籃通過加壓氣缸安裝在升降籃頂部的內(nèi)壁上，加壓提籃內(nèi)底面設(shè)有加壓卡槽，加壓卡槽上卡接吸盤裝置，吸盤裝置的底面穿過加壓卡槽后位于升降籃內(nèi)底面上方，吸盤裝置的底面用于吸住半導體用石英板。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡單，操作便利；提高了操作員工的工作環(huán)境，降低安全隱患。