用于半導(dǎo)體用石英板的拋光上盤(pán)裝置及拋光上盤(pán)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110007478.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112847101B 公開(kāi)（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN112847101B 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類(lèi)號(hào) B24B29/02（2006.01）I;B24B41/00（2006.01）I;B24B41/06（2012.01）I;B24B1/00（2006.01）I;F28C3/00（2006.01）I 分類(lèi) 磨削；拋光;
發(fā)明人 單佩;陳佳驊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海和華啟核知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 達(dá)曉玲
地址 201801上海市嘉定區(qū)博學(xué)路509號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體用石英板上盤(pán)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種拋光上盤(pán)裝置及拋光上盤(pán)方法。其中，用于半導(dǎo)體用石英板的拋光上盤(pán)裝置，包括底座，底座上設(shè)有水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)，水平移動(dòng)機(jī)構(gòu)上分別設(shè)有高溫恒溫水箱和低溫恒溫水箱，還包括升降籃，升降籃內(nèi)底面上設(shè)置有升降籃卡槽，升降籃通過(guò)升降氣缸安裝在高溫恒溫水箱和低溫恒溫水箱上方，升降籃內(nèi)設(shè)有加壓提籃，加壓提籃通過(guò)加壓氣缸安裝在升降籃頂部的內(nèi)壁上，加壓提籃內(nèi)底面設(shè)有加壓卡槽，加壓卡槽上卡接吸盤(pán)裝置，吸盤(pán)裝置的底面穿過(guò)加壓卡槽后位于升降籃內(nèi)底面上方，吸盤(pán)裝置的底面用于吸住半導(dǎo)體用石英板。本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，操作便利；提高了操作員工的工作環(huán)境，降低安全隱患。