一種用于半導(dǎo)體用石英環(huán)的拋光液自動(dòng)供給裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010984677.9 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114211399A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN114211399A 申請(qǐng)公布日 2022-03-22
分類號(hào) B24B55/02（2006.01）I;B24B49/14（2006.01）I;B01F27/112（2022.01）I;B01F35/12（2022.01）I;B01F35/00（2022.01）I;B01D33/03（2006.01）I;B01F101/27（2022.01）N 分類 磨削；拋光;
發(fā)明人 單佩;顧曹鑫 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海菲利華石創(chuàng)科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海和華啟核知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 達(dá)曉玲
地址 201801上海市嘉定區(qū)馬陸鎮(zhèn)博學(xué)路509號(hào)1幢1-4層A區(qū)、地下1層A區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種石英環(huán)用的拋光液供給裝置。一種用于半導(dǎo)體用石英環(huán)的拋光液自動(dòng)供給裝置，包括拋光液桶、拋光液桶蓋、攪拌裝置、拋光液供給水泵、純水桶、原液桶，純水桶的底部通過(guò)純水泵聯(lián)通拋光液桶，原液桶的底部通過(guò)拋光液調(diào)節(jié)水泵聯(lián)通拋光液桶，拋光液桶蓋上設(shè)有拋光液回水口，拋光液回水口通過(guò)管路連接拋光機(jī)的拋光液出液口；拋光液桶蓋上安裝有音叉式密度計(jì)和溫度傳感器，拋光液桶的下方裝有半導(dǎo)體制冷塊，音叉式密度計(jì)分別連接純水泵、拋光液調(diào)節(jié)水泵，溫度傳感器連接半導(dǎo)體制冷塊。本發(fā)明可自動(dòng)調(diào)節(jié)拋光液濃度和溫度，提高拋光效率和精度，操作簡(jiǎn)單，使用方便。