一種有效去除總有機(jī)碳和弱離子化雜質(zhì)的超純水制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210225886.4 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114291959B | 公開（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114291959B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類號(hào) | C02F9/10（2006.01）I;C02F103/04（2006.01）N | 分類 | 水、廢水、污水或污泥的處理; |
| 發(fā)明人 | 鄭偉;程星華;楊光明;李錦生;劉澈;王鵬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國(guó)電子工程設(shè)計(jì)院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京智橋聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 100142北京市海淀區(qū)西四環(huán)北路160號(hào)3層二區(qū)317 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開一種有效去除總有機(jī)碳和弱離子化雜質(zhì)的超純水制備方法，包括：對(duì)原水進(jìn)行預(yù)處理，得到過(guò)濾水，預(yù)處理包括至少一次過(guò)濾處理；對(duì)過(guò)濾水進(jìn)行淺除鹽操作，得到一次純水，淺除鹽操作包括對(duì)過(guò)濾水進(jìn)行至少一次反滲透處理；對(duì)一次純水進(jìn)行深除鹽操作，得到二次純水，深除鹽操作包括使一次純水依次經(jīng)過(guò)連續(xù)電除鹽系統(tǒng)（31）、光催化真空紫外氧化器（32）、弱酸鹽脫除塔（33）和氮?dú)庹婵栈旌鲜侥っ摎庋b置（34）進(jìn)行處理；對(duì)二次純水進(jìn)行拋光處理，得到超純水。上述方案能更有效地減少水中總有機(jī)碳和弱離子化雜質(zhì)，從而使所制備的超純水穩(wěn)定滿足新版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ASTM D5127?13（2018）《電子和半導(dǎo)體工業(yè)用超純水的標(biāo)準(zhǔn)指南》中E?1.1及以上要求。 |
