一種圖形化藍(lán)寶石復(fù)合襯底及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010208451.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111341894A 公開（公告）日 2020-06-26
申請公布號 CN111341894A 申請公布日 2020-06-26
分類號 H01L33/20(2010.01)I 分類 -
發(fā)明人 孫永健;豆學(xué)剛;鄭會剛;鄧海燕;田克旺;武志川 申請（專利權(quán)）人 保定中創(chuàng)燕園半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 保定市燕趙恒通知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 王葶葶
地址 071051河北省保定市向陽北大街2599號8017室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種圖形化藍(lán)寶石復(fù)合襯底及制備方法，襯底包括平片藍(lán)寶石襯底和SiO2異質(zhì)薄膜；在異質(zhì)薄膜端有高度1.2?2.2um、底徑1.2?4.5um和周期1.5?4.0um的圓錐圖形，圓錐圖形分布在異質(zhì)薄膜層或分布在異質(zhì)薄膜層和平片藍(lán)寶石襯底的上端，平片藍(lán)寶石襯底刻蝕深度為50?300nm。該襯底通過激光掃描底部加熱的方法糾正彎曲的平片藍(lán)寶石襯底晶格失配，復(fù)合藍(lán)寶石襯底的制備，勻膠機(jī)勻膠，掩模層的形成，硅膠軟膜的制備，掩模層圖形化及用ICP設(shè)備進(jìn)行等離子體刻蝕形成有規(guī)則的圓錐圖形等制成。本發(fā)明有效糾正了藍(lán)寶石晶格失配，釋放了藍(lán)寶石內(nèi)部應(yīng)力，增加了光提取效率，提高了生產(chǎn)效率，降低了成本。??