一種氮化鋁陶瓷基板燒結(jié)用疊片架

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920889476.3 申請日 -
公開(公告)號 CN210242436U 公開(公告)日 2020-04-03
申請公布號 CN210242436U 申請公布日 2020-04-03
分類號 F27D5/00(2006.01)I 分類 爐;窯;烘烤爐;蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 孫永健;郭堅(jiān);王光普;諶洛;賈軍峰;豆學(xué)剛;莫少瓊 申請(專利權(quán))人 保定中創(chuàng)燕園半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 保定市燕趙恒通知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 王葶葶
地址 071051河北省保定市國家高新區(qū)北二環(huán)惠陽街369號中關(guān)村創(chuàng)新基地1號樓A座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種氮化鋁陶瓷基板燒結(jié)用疊片架,包括底板、蓋板和多片與底板尺寸相同的支撐疊片;所述底板四角分別固定有四根固定柱;所述支撐疊片的四角與固定柱相對應(yīng)的位置開有與底板上的固定柱完全配合的固定孔;蓋板四角與固定柱相對應(yīng)的位置開有與底板上的固定柱完全配合的固定槽或固定孔;使用時(shí),各支撐疊片穿在底板上的固定柱上,蓋板也穿在底板上的固定柱上。使用該疊片架將氮化鋁生坯進(jìn)行疊片后燒結(jié),制成的氮化鋁陶瓷基板之間不會產(chǎn)生粘接,不改變氮化鋁陶瓷基片性能的穩(wěn)定性和重復(fù)性,保證了基板的平整度,基本沒有翹曲變形,成品率高。??