一種回收圖形化藍寶石襯底的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910152598.9 申請日 -
公開（公告）號 CN109887878A 公開（公告）日 2019-06-14
申請公布號 CN109887878A 申請公布日 2019-06-14
分類號 H01L21/683（2006.01）I; H01L33/00（2010.01）I; B23K26/53（2014.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫永健; 豆學(xué)剛; 莫少瓊; 王光普; 王艷祥; 鄧海燕; 鄭會剛 申請（專利權(quán)）人 保定中創(chuàng)燕園半導(dǎo)體科技有限公司
代理機構(gòu) 保定市燕趙恒通知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 代理人 王葶葶
地址 071051 河北省保定市國家高新區(qū)北二環(huán)惠陽街369號中關(guān)村創(chuàng)新基地1號樓A座
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明實施例公開了一種回收圖形化藍寶石襯底的方法，包括采用波長355nm、剝離功率5?15W的激光剝離機對報廢的LED外延片進行激光掃描，放入高溫爐進行高溫分解，高溫爐內(nèi)混合氣體為氫氣、氮氣、氯氣、氯化氫中的一種及兩種以上，氣體總流量5?100L/min,溫度600?1300℃；置于裝有溫度70?130℃的防腐蝕器皿內(nèi)的堿溶液中靜置，再置于裝有溫度為80?180℃的防腐蝕器皿內(nèi)的酸溶液中靜置；再在內(nèi)有溫度為90?140℃的體積比為1：4?7的硫酸與雙氧水的混合液的石英槽內(nèi)進行清洗，用去離子水沖洗后甩干。本發(fā)明在不損傷圖形的基礎(chǔ)上去除圖形化藍寶石襯底上的外延層，使其重新利用，工藝簡單，成本低。