一種小型晶體諧振器的晶片清洗機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201520839462.2 申請日 -
公開（公告）號 CN205128495U 公開（公告）日 2016-04-06
申請公布號 CN205128495U 申請公布日 2016-04-06
分類號 B08B3/08(2006.01)I;B08B3/02(2006.01)I;B08B3/10(2006.01)I;B08B3/14(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 湯陽武;李慶躍;吳宗澤;王臻;林土全;郭雄偉 申請（專利權(quán)）人 浙江東晶電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 金華科源專利事務(wù)所有限公司 代理人 浙江東晶電子股份有限公司;東晶電子金華有限公司
地址 321025 浙江省金華市賓虹西路555號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種小型晶體諧振器的晶片清洗機(jī)，其特征在于：包括多個不同水溫水位振洗槽及水箱、移料裝置，不同水溫水位振洗槽內(nèi)裝有振板，振板內(nèi)密封有換能器，振洗槽內(nèi)設(shè)置有液位開關(guān)，不同水溫水位振洗槽間由移料裝置移料，移料裝置包括移料吸取裝置、移料行程控制桿、移料電機(jī)旋轉(zhuǎn)塊和移料移動裝置。振洗槽包括清洗液振洗槽、熱水噴淋振洗槽、熱水低水位振洗槽、熱水高水位振洗槽、純水低水位振洗槽、純水高水位振洗槽，依次連接。本實用新型能有效地去除晶片表面的臟污和異物，使小型晶片清洗干凈，解決清洗過程造成的破片、裂片問題，實現(xiàn)熱水、純水循環(huán)利用，保障品質(zhì)，降低制造成本，提升效率。