一種利用大規(guī)格二氧化硅疏松體制備石英玻璃的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910532586.9 申請日 -
公開（公告）號 CN110183100B 公開（公告）日 2021-07-16
申請公布號 CN110183100B 申請公布日 2021-07-16
分類號 C03B20/00 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 王韜;張國君;歐陽葆華;吳學(xué)民;商春利 申請（專利權(quán)）人 湖北菲利華石英玻璃股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 荊州市亞德專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 蔡昌偉
地址 434001 湖北省荊州市東方大道68號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種利用大規(guī)格的二氧化硅疏松體制備石英玻璃的方法，屬石英玻璃生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明的原始料為直徑Φ500~Φ1100mm高度500~1000mm的大規(guī)格二氧化硅疏松體；經(jīng)第一次抽真空、第一次升溫、第一次充氣、第二次抽真空、第二次升溫、第二次充氣和降溫制得石英玻璃產(chǎn)品，制得的石英玻璃產(chǎn)品的羥基含量＜5ppm，氯含量＜1ppm，因此在全光譜透過率方面均較高，可滿足精密光學(xué)、激光技術(shù)和半導(dǎo)體光刻技術(shù)等高新技術(shù)領(lǐng)域的使用要求。