多晶硅生產工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610092668.2 申請日 -
公開（公告）號 CN107098348B 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN107098348B 申請公布日 2021-11-02
分類號 C01B33/03（2006.01）I 分類 無機化學;
發(fā)明人 齊林喜;郭金強 申請（專利權）人 內蒙古盾安光伏科技有限公司
代理機構 杭州華進聯浙知識產權代理有限公司 代理人 儲照良
地址 015500 內蒙古自治區(qū)巴彥淖爾市烏拉特后旗青山工業(yè)園區(qū)經三路與緯四路交叉口東南側
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種多晶硅生產工藝，包括如下步驟：硅棒初步生長步驟：在還原爐里通入氫氣和二氯二氫硅，在硅芯表面生成多晶硅使硅棒生長到預定尺寸；硅棒完整生長步驟：通入三氯氫硅、二氯二氫硅和氫氣的混合氣體，完成硅棒生長；開爐步驟:待硅棒生長完成后，打開還原爐，取出硅棒。本發(fā)明的多晶硅生產工藝，采用兩段生長的方式，開始采用二氯二氫硅和氫氣反應的方式，比常規(guī)氫氣還原三氯氫硅的方式生長速度快，一般倒棒的事故多發(fā)生在晶棒生長的前期，這就減少倒棒發(fā)生的可能，本發(fā)明的多晶硅生產工藝，能夠減少倒棒率，降低生產成本。硅棒完整生長階段，加入有部分二氯二氫硅，可以有效地增加硅的生成率，提高原料的轉化效率10%到15%。