多晶硅的還原生產(chǎn)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810370079.5 申請日 -
公開（公告）號 CN110395735A 公開（公告）日 2019-11-01
申請公布號 CN110395735A 申請公布日 2019-11-01
分類號 C01B33/035（2006.01）I 分類 無機化學(xué);
發(fā)明人 齊林喜; 陳建宇; 郝愛科; 趙亮 申請（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古盾安光伏科技有限公司
代理機構(gòu) 北京迎碩知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張群峰;錢揚保
地址 015543 內(nèi)蒙古自治區(qū)巴彥淖爾市烏拉特后旗青山工業(yè)園區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 多晶硅的還原生產(chǎn)方法，包括：提供還原爐；將多個硅芯棒安裝在還原爐中，控制爐內(nèi)有效單位體積內(nèi)硅芯生長表面面積；向還原爐中通入氫氣和三氯氫硅混合氣體原料；控制還原爐內(nèi)溫度；在硅芯棒上生長多晶硅體，控制爐內(nèi)有效單位體積內(nèi)最終長成的多晶硅體表面積；停止通入混合氣體原料，并切換為通入氫氣，直至還原爐內(nèi)溫度降低至預(yù)定值。