一種具有傾斜掃描功能的LDI設備二維平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121375771.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215117165U 公開（公告）日 2021-12-10
申請公布號 CN215117165U 申請公布日 2021-12-10
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 馬強;張昌清;劉濤 申請（專利權）人 浙江津芯微電子科技有限公司
代理機構 亳州速誠知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 艾玲
地址 311121浙江省杭州市余杭區(qū)倉前街道龍?zhí)堵?6號3幢204-5室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及LDI設備二維平臺技術領域，尤其為一種具有傾斜掃描功能的LDI設備二維平臺，包括二維平臺和X軸，所述二維平臺的內(nèi)側設置有X軸，所述二維平臺的內(nèi)側設置有Y軸，所述二維平臺的內(nèi)側設置有空間光調(diào)制器，本實用新型中若線路較細選用小的網(wǎng)格精度，保證線路解析效果，若線路較粗選用較大的網(wǎng)格精度，減小數(shù)據(jù)量，提高產(chǎn)能，計算出具體的θ，根據(jù)規(guī)劃出的不同的掃描軌跡得到相應的網(wǎng)格精度，實現(xiàn)了一臺設備多種網(wǎng)格精度，SLM無需傾斜安裝，節(jié)省了空間，對鏡頭數(shù)量多且間距小的機型優(yōu)勢尤為明顯，增加裝置的實用性。