一種具有傾斜掃描功能的LDI設(shè)備二維平臺(tái)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121375771.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215117165U | 公開（公告）日 | 2021-12-10 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215117165U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-12-10 |
| 分類號(hào) | G03F7/20（2006.01）I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 馬強(qiáng);張昌清;劉濤 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江津芯微電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 亳州速誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 艾玲 |
| 地址 | 311121浙江省杭州市余杭區(qū)倉前街道龍?zhí)堵?6號(hào)3幢204-5室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及LDI設(shè)備二維平臺(tái)技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種具有傾斜掃描功能的LDI設(shè)備二維平臺(tái)，包括二維平臺(tái)和X軸，所述二維平臺(tái)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有X軸，所述二維平臺(tái)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有Y軸，所述二維平臺(tái)的內(nèi)側(cè)設(shè)置有空間光調(diào)制器，本實(shí)用新型中若線路較細(xì)選用小的網(wǎng)格精度，保證線路解析效果，若線路較粗選用較大的網(wǎng)格精度，減小數(shù)據(jù)量，提高產(chǎn)能，計(jì)算出具體的θ，根據(jù)規(guī)劃出的不同的掃描軌跡得到相應(yīng)的網(wǎng)格精度，實(shí)現(xiàn)了一臺(tái)設(shè)備多種網(wǎng)格精度，SLM無需傾斜安裝，節(jié)省了空間，對(duì)鏡頭數(shù)量多且間距小的機(jī)型優(yōu)勢(shì)尤為明顯，增加裝置的實(shí)用性。 |
