一種用于雙平臺氣路控制改進結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121385630.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215908867U 公開（公告）日 2022-02-25
申請公布號 CN215908867U 申請公布日 2022-02-25
分類號 F17D1/02（2006.01）I;F17D3/01（2006.01）I;F04D29/40（2006.01）I 分類 氣體或液體的貯存或分配;
發(fā)明人 李偉;張磊;張立;劉濤;張昌清 申請（專利權(quán)）人 浙江津芯微電子科技有限公司
代理機構(gòu) 亳州速誠知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 艾玲
地址 311121浙江省杭州市余杭區(qū)倉前街道龍?zhí)堵?6號3幢204-5室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其為一種用于雙平臺氣路控制改進結(jié)構(gòu)，包括左平臺和右平臺，所述左平臺外側(cè)通過導(dǎo)管固定連接有真空閥一，所述真空閥一輸入端通過導(dǎo)管固定連接有電磁閥一，所述電磁閥一外側(cè)通過導(dǎo)管固定連接有壓力表，所述壓力表輸入端固定連接有外部氣路，所述真空閥一輸出端通過導(dǎo)管固定連接有鼓風(fēng)機；本實用新型中，通過設(shè)置的真空閥一、真空閥二、真空閥三和鼓風(fēng)機，通過合理使用真空閥的正反接、增加鼓風(fēng)機端口的數(shù)量，達到減少真空閥的使用個數(shù)的目的，同時單獨控制每個平臺的效果沒有絲毫的改變，節(jié)約了成本和空間。