復眼主動對焦勻光系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210449809.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114706278A 公開（公告）日 2022-07-05
申請公布號 CN114706278A 申請公布日 2022-07-05
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術；電影術；利用了光波以外其他波的類似技術；電記錄術；全息攝影術〔4〕;
發(fā)明人 張昌清;張立;劉濤 申請（專利權）人 浙江津芯微電子科技有限公司
代理機構 杭州匯和信專利代理有限公司 代理人 -
地址 310000浙江省杭州市余杭區(qū)倉前街道龍?zhí)堵?6號3幢204-5室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種復眼主動對焦勻光系統(tǒng)，涉及光刻直寫曝光機及投影顯示技術領域。本發(fā)明包括基板，基板的上側設有第三鏡片、滑動配合有兩個矩形框，矩形框內(nèi)滑動配合有固定框、一側固定有固定板，固定框的一側固定有連接板，連接板的上側轉(zhuǎn)動配合有第一螺紋桿，且第一螺紋桿貫穿固定板并螺紋配合在固定板內(nèi)，兩個固定框內(nèi)分別裝設有第一鏡片和第二鏡片。本發(fā)明通過伺服電機的作用方便帶動第二螺紋桿進行轉(zhuǎn)動，進而方便讓第二螺紋桿帶動矩形框在基板和支撐架之間進行滑動，通過轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)把方便帶動第一螺紋桿進行轉(zhuǎn)動，進而帶動固定框在矩形框的內(nèi)部進行滑動，進而方便調(diào)節(jié)固定框內(nèi)第一鏡片或第二鏡片的高度。