基于FPGA光直寫方法及成像傳輸系統(tǒng)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210449434.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114624966A 公開（公告）日 2022-06-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN114624966A 申請(qǐng)公布日 2022-06-14
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 楊國(guó)環(huán);張昌清;劉濤 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 浙江津芯微電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州匯和信專利代理有限公司 代理人 -
地址 310000浙江省杭州市余杭區(qū)倉(cāng)前街道龍?zhí)堵?6號(hào)3幢204-5室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于FPGA光直寫方法及成像傳輸系統(tǒng)設(shè)備，涉及激光直寫技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括通過計(jì)算機(jī)直寫軟件設(shè)計(jì)出基片掩模上需要的圖形；通過計(jì)算機(jī)產(chǎn)生設(shè)計(jì)的微光學(xué)元件或待制作的VLSI掩摸結(jié)構(gòu)數(shù)據(jù)；將數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換成直寫系統(tǒng)控制數(shù)據(jù)，由計(jì)算機(jī)控制激光源發(fā)射激光束在光刻膠上直接掃描曝光；通過激光束在光刻膠上直接曝光寫出所設(shè)計(jì)的任意圖形，從而把設(shè)計(jì)圖形直接轉(zhuǎn)移到基片掩模上。本發(fā)明通過設(shè)置的兩個(gè)夾板，能帶動(dòng)兩個(gè)夾板相對(duì)移動(dòng)對(duì)放置臺(tái)上的放置的基片進(jìn)行夾持固定，激光發(fā)射器和攝像設(shè)備位于操作箱的下面，從而減少了激光發(fā)射器和攝像設(shè)備自身的重量對(duì)操作箱造成較大的壓力的情況。