一種針對超厚TiN膜層保持超硬特性同時提高韌性的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610035095.X 申請日 -
公開（公告）號 CN105779936B 公開（公告）日 2018-12-04
申請公布號 CN105779936B 申請公布日 2018-12-04
分類號 C23C14/06;C23C14/48;C23C14/32 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 廖斌;王宇東;姜其立;張旭;羅軍;吳先映 申請（專利權(quán)）人 廣東省廣新創(chuàng)新研究院有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 100875 北京市海淀區(qū)新街口外大街19號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備超厚以及韌性高的TiN方法，其中，制備該TiN膜方法包括：采用金屬陰極真空磁過濾沉積系統(tǒng)(FCVA)，在工件表面利用高能大束流金屬離子束對工件進行清洗；然后采用金屬真空蒸汽離子源方法(MEVVA)，在工件表面注入一層能提高膜基結(jié)合力的金屬″釘扎層″；在所述的金屬″釘扎層″之上，采用磁過濾陰極真空弧沉積方法(FCVA)，在對氣體進氣量進行正弦或余弦調(diào)制沉積得到超硬韌性好的厚TiN膜層；重復(fù)調(diào)制周期直至TiN膜總厚度為10?30微米。通過實施本發(fā)明，在工件沉積TiN膜具有很好韌性以及很高的顯微硬度。