一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610177889.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN105711224B | 公開（公告）日 | 2017-11-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN105711224B | 申請(qǐng)公布日 | 2017-11-24 |
| 分類號(hào) | B32B37/00(2006.01)I;B32B37/10(2006.01)I;B32B37/12(2006.01)I | 分類 | 層狀產(chǎn)品; |
| 發(fā)明人 | 陳波;李順成;唐淋;余朝晃 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖南新中合光電科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 湖南新中合光電科技股份有限公司;中天寬帶技術(shù)有限公司 |
| 地址 | 416500 湖南省湘西土家族苗族自治州保靖縣高新科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)（遷陵鎮(zhèn)梅花花井村高速路口旁） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公布了一種光分路器晶圓貼片系統(tǒng)，L型支架上設(shè)有壓桿；壓桿下端設(shè)有壓頭頂住壓板；下真空吸座上設(shè)有晶圓貼合臺(tái)，晶圓貼合臺(tái)中心設(shè)有圓弧吸氣凹槽，圓弧吸氣凹槽中心設(shè)有吸氣孔連通抽氣管道；晶圓貼合臺(tái)上以吸氣孔為圓心均勻設(shè)有環(huán)形導(dǎo)氣槽，晶圓貼合臺(tái)上以吸氣孔為中心呈輻射狀設(shè)有直條導(dǎo)氣槽；下真空吸座上的環(huán)形導(dǎo)氣槽與直條導(dǎo)氣槽相互連通；上真空吸座下面設(shè)有蓋板貼合臺(tái)，蓋板貼合臺(tái)中心設(shè)有圓弧吸氣凹槽，圓弧吸氣凹槽中心設(shè)有吸氣孔連通抽氣管道；蓋板貼合臺(tái)上以吸氣孔為中心呈輻射狀均勻設(shè)有直條導(dǎo)氣槽與圓弧吸氣凹槽連通；抽氣管道均連接真空泵。它能大大提高晶圓的貼片效率與質(zhì)量，保證光分路器芯片的可靠性。 |
