一種用于提高晶圓濕洗機(jī)清洗速度和質(zhì)量的裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720006216.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206480598U 公開（公告）日 2017-09-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN206480598U 申請(qǐng)公布日 2017-09-08
分類號(hào) H01L21/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳波;唐淋;余朝晃;鄭敏;樊建銀 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 湖南新中合光電科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 陳銘浩;馮曉欣
地址 416500 湖南省湘西土家族苗族自治州保靖縣高新科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)（遷陵鎮(zhèn)梅花花井村高速路口旁）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于提高晶圓濕洗機(jī)清洗速度和質(zhì)量的裝置，它包括箱體，箱體內(nèi)設(shè)置有帶孔支架、電熱管、溫控探針、進(jìn)氣管；所述帶孔支架上可拆卸的設(shè)置有晶圓放置架；所述進(jìn)氣管頂端伸出于箱體上端且進(jìn)氣管頂端設(shè)置有壓力表、流量調(diào)節(jié)閥，所述進(jìn)氣管末端設(shè)置有出氣管；所述箱體外設(shè)置有控制器，所述控制器與溫控探針、電熱管連接。本實(shí)用新型的目的是提供一種用于提高晶圓濕洗機(jī)清洗速度和質(zhì)量的裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可提高清洗的效率及質(zhì)量。