一種用于提高晶圓濕洗機清洗速度和質(zhì)量的裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720006216.8 申請日 -
公開（公告）號 CN206480598U 公開（公告）日 2017-09-08
申請公布號 CN206480598U 申請公布日 2017-09-08
分類號 H01L21/02(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳波;唐淋;余朝晃;鄭敏;樊建銀 申請（專利權(quán)）人 湖南新中合光電科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京志霖恒遠知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 陳銘浩;馮曉欣
地址 416500 湖南省湘西土家族苗族自治州保靖縣高新科技產(chǎn)業(yè)園區(qū)（遷陵鎮(zhèn)梅花花井村高速路口旁）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于提高晶圓濕洗機清洗速度和質(zhì)量的裝置，它包括箱體，箱體內(nèi)設置有帶孔支架、電熱管、溫控探針、進氣管；所述帶孔支架上可拆卸的設置有晶圓放置架；所述進氣管頂端伸出于箱體上端且進氣管頂端設置有壓力表、流量調(diào)節(jié)閥，所述進氣管末端設置有出氣管；所述箱體外設置有控制器，所述控制器與溫控探針、電熱管連接。本實用新型的目的是提供一種用于提高晶圓濕洗機清洗速度和質(zhì)量的裝置，結(jié)構(gòu)簡單，可提高清洗的效率及質(zhì)量。