一種褪除金屬工件表面碳膜的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210356148.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114645281A 公開（公告）日 2022-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN114645281A 申請(qǐng)公布日 2022-06-21
分類號(hào) C23G5/00（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 田燦鑫;黃偉華;賴慧明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 嶺南師范學(xué)院
代理機(jī)構(gòu) 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 -
地址 524048廣東省湛江市赤坎區(qū)寸金路29號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于金屬材料表面處理技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種褪除金屬工件表面碳膜的方法。本發(fā)明采用高頻電場(chǎng)離化惰性氣體，獲得混合惰性氣體的等離子體，使金屬件完全浸沒在等離子體中，通過高能粒子濺射與活性離子蝕刻的復(fù)合作用去除金屬件表面碳膜，是一種物理化學(xué)復(fù)合作用的過程。該方法可以有效去除金屬件表面的碳膜，對(duì)金屬件無損傷，不影響金屬件的公差尺寸，同時(shí)采用的惰性氣體對(duì)環(huán)境沒有任何污染，適合大規(guī)模使用。