一種石墨烯等離激元?dú)怏w傳感器及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110833247.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113533300B 公開（公告）日 2022-06-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113533300B 申請(qǐng)公布日 2022-06-21
分類號(hào) G01N21/65;G01N27/12 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 趙珉;劉桂英;陳偉軍;劉如軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 嶺南師范學(xué)院
代理機(jī)構(gòu) 廣州粵高專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 劉瑤云;陳偉斌
地址 524048 廣東省湛江市赤坎區(qū)寸金路29號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及氣體檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種石墨烯等離激元?dú)怏w傳感器，包括包括基底、石墨烯層和貴金屬顆粒層，基底、石墨烯層和貴金屬顆粒層由下至上依次設(shè)置，貴金屬顆粒層包括多個(gè)貴金屬顆粒，貴金屬顆粒位于石墨烯層的上方，貴金屬顆?？砂l(fā)生表面增強(qiáng)拉曼（SERS）效應(yīng)，增強(qiáng)石墨烯等離激元與氣體分子的相互作用，提高石墨烯層對(duì)氣體的拉曼響應(yīng)，從而獲得等離激元增強(qiáng)的拉曼光譜，且貴金屬顆粒還可提高石墨烯層對(duì)氣體的電學(xué)響應(yīng)，大大提高了傳感器的靈敏度。另外，本發(fā)明的石墨烯層具有周期性納米結(jié)構(gòu)，石墨烯層和貴金屬顆粒層之間設(shè)有TiO2介質(zhì)層，基底包括硅襯底和設(shè)置硅襯底上的SiO2層。本發(fā)明還提供一種上述石墨烯等離激元?dú)怏w傳感器的制作方法。