氣浮卡盤

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011569044.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112635386A 公開（公告）日 2021-04-09
申請公布號 CN112635386A 申請公布日 2021-04-09
分類號 H01L21/683 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曾安 申請（專利權）人 南京力安半導體有限公司
代理機構 北京布瑞知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 秦衛(wèi)中
地址 210000 江蘇省南京市江北新區(qū)研創(chuàng)園團結路99號孵鷹大廈1849室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請實施例提供了一種氣浮卡盤。該氣浮卡盤包括噴嘴部和氣體通道部，其中，噴嘴部設置有多個支撐力噴嘴，用于在噴嘴部的頂部表面上形成氣墊；氣體通道部包括向多個支撐力噴嘴傳輸?shù)谝粴怏w以提供支撐力的第一氣體通道。本申請實施例能夠實現(xiàn)由第一氣體通道向多個支撐力噴嘴傳輸?shù)谝粴怏w，由第一氣體提供支撐力，通過調節(jié)第一氣體通道中第一氣體的氣流以在噴嘴部的頂部表面上形成氣墊，以便于使氣墊所支撐如晶圓之類的支撐物穩(wěn)定懸浮在氣墊遠離噴嘴部的頂部表面的一側。