一種適用于吸料實(shí)驗(yàn)的極限拉晶工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110557217.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN115369482A 公開（公告）日 2022-11-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN115369482A 申請(qǐng)公布日 2022-11-22
分類號(hào) C30B15/28（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 項(xiàng)龍;趙子龍;劉振宇;吳樹飛;王林;王建平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 內(nèi)蒙古中環(huán)晶體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 010070內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市賽罕區(qū)阿木爾南街19號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種適用于吸料實(shí)驗(yàn)的極限拉晶工藝，包括：拉制單晶過(guò)程中，當(dāng)坩堝內(nèi)部剩料較少時(shí)，調(diào)整主加熱器的加熱功率，同時(shí)調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速，控制單晶尾部的直徑；當(dāng)滿足預(yù)設(shè)條件時(shí)，停止拉晶。本發(fā)明的有益效果是降低坩堝的轉(zhuǎn)速以及對(duì)主加熱器進(jìn)行一定的溫補(bǔ)，避免加熱功率低和坩堝轉(zhuǎn)速過(guò)快導(dǎo)致坩堝內(nèi)的硅液結(jié)晶，針對(duì)不同的剩料重量來(lái)調(diào)整主加熱器的加熱功率以及坩堝的轉(zhuǎn)速，能夠更加準(zhǔn)確的控制單晶的直徑，使單位小時(shí)內(nèi)重量變化較現(xiàn)有技術(shù)增加，拉到吸料要求剩料所需時(shí)間較現(xiàn)有技術(shù)減小，減少工時(shí)浪費(fèi)，降低綜合成本。