一種磷鎵共摻單晶的拉制工藝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110522378.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN115341269A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-11-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN115341269A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-11-15 |
| 分類號(hào) | C30B15/04（2006.01）;C30B15/20（2006.01）;C30B29/06（2006.01） | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 楊志;劉有益;程立波;王林;徐強(qiáng);郭志榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 內(nèi)蒙古中環(huán)晶體材料有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 欒志超 |
| 地址 | 010070 內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市賽罕區(qū)阿木爾南街19號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種磷鎵共摻單晶的拉制工藝，包括以下步驟：制備含有磷和鎵的多晶硅原料；將含有磷和鎵的多晶硅原料和堝底料裝入坩堝內(nèi)；依次進(jìn)行化料、穩(wěn)溫、引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑生長(zhǎng)和收尾，并控制各個(gè)階段的水冷內(nèi)導(dǎo)的冷卻水的流量為30?280slpm。本發(fā)明的有益效果是在拉晶的裝料時(shí)裝入含有磷和鎵的多晶原料，進(jìn)行磷元素和鎵元素的固相摻雜，通過(guò)控制水冷內(nèi)導(dǎo)的冷卻液的流量控制單晶的生長(zhǎng)速度，調(diào)節(jié)速度快，可快速控制單晶用熱場(chǎng)，使得單晶的生長(zhǎng)過(guò)程可控性提高，延長(zhǎng)單晶的長(zhǎng)度。 |
