用于高效率拋光含鍺基材的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)組合物

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201580068363.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107406721A 公開（公告）日 2017-11-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN107406721A 申請(qǐng)公布日 2017-11-28
分類號(hào) C09G1/02(2006.01)I;C09K3/14(2006.01)I 分類 染料；涂料；拋光劑；天然樹脂；黏合劑；其他類目不包含的組合物；其他類目不包含的材料的應(yīng)用;
發(fā)明人 M·西伯特;M·勞特爾;蘭永清;R·賴夏特;A·明希;M·?？怂?G·丹尼爾;B·M·諾勒;K·黃;S·A·奧斯曼易卜拉欣 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 巴斯夫（中國）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市中咨律師事務(wù)所 代理人 劉娜;劉金輝
地址 德國路德維希港
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)組合物(Q)，其包含：(A)無機(jī)顆粒，(B)通式(I)化合物，(C)含水介質(zhì)，其中該組合物(Q)的pH為2至6。