空腔型薄膜體聲波諧振器濾波器的設(shè)計(jì)及制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201611135804.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN107025321B | 公開（公告）日 | 2017-08-08 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107025321B | 申請(qǐng)公布日 | 2017-08-08 |
| 分類號(hào) | G06F30/36(2020.01)I | 分類 | 計(jì)算；推算；計(jì)數(shù); |
| 發(fā)明人 | 李國(guó)強(qiáng);李潔;劉國(guó)榮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 佛山市艾佛光通科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州市越秀區(qū)哲力專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陶潔雯 |
| 地址 | 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道136號(hào)B2棟1103室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種空腔型薄膜體聲波諧振器濾波器的設(shè)計(jì)與制備方法。該方法包括應(yīng)用ADS軟件仿真基于Mason模型的FBAR梯形濾波器，得到傳輸性能同時(shí)滿足帶內(nèi)插損和帶外抑制指標(biāo)要求的各膜層物理參數(shù)；在制備襯底上生長(zhǎng)對(duì)應(yīng)厚度的壓電層、電極層的復(fù)合膜層，另取一支撐襯底形成空腔，將復(fù)合膜層與支撐襯底鍵合，剝離原制備襯底，生長(zhǎng)不同厚度的上電極層，形成電極/壓電層/電極/空腔的復(fù)合結(jié)構(gòu)。采用本發(fā)明設(shè)計(jì)和制備得到的FBAR濾波器上電極膜層參數(shù)控制精確，得到的濾波器性能優(yōu)異；避免了傳統(tǒng)工藝中引入犧牲層和采用化學(xué)機(jī)械研磨方法對(duì)諧振結(jié)構(gòu)可能造成的破壞，減小了器件的損耗。?? |
