空腔型薄膜體聲波諧振器濾波器的設(shè)計及制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201611135804.8 申請日 -
公開（公告）號 CN107025321A 公開（公告）日 2017-08-08
申請公布號 CN107025321A 申請公布日 2017-08-08
分類號 G06F17/50(2006.01)I 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 李國強;李潔;劉國榮 申請（專利權(quán)）人 佛山市艾佛光通科技有限公司
代理機構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 談杰
地址 510700 廣東省廣州市黃埔區(qū)開源大道136號B2棟1103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種空腔型薄膜體聲波諧振器濾波器的設(shè)計與制備方法。該方法包括應(yīng)用ADS軟件仿真基于Mason模型的FBAR梯形濾波器，得到傳輸性能同時滿足帶內(nèi)插損和帶外抑制指標要求的各膜層物理參數(shù)；在制備襯底上生長對應(yīng)厚度的壓電層、電極層的復(fù)合膜層，另取一支撐襯底形成空腔，將復(fù)合膜層與支撐襯底鍵合，剝離原制備襯底，生長不同厚度的上電極層，形成電極/壓電層/電極/空腔的復(fù)合結(jié)構(gòu)。采用本發(fā)明設(shè)計和制備得到的FBAR濾波器上電極膜層參數(shù)控制精確，得到的濾波器性能優(yōu)異；避免了傳統(tǒng)工藝中引入犧牲層和采用化學(xué)機械研磨方法對諧振結(jié)構(gòu)可能造成的破壞，減小了器件的損耗。